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石墨舟的預熱及預處理方法

發布作者:jcadmin      發布時間:2024年01月19日

石墨舟的預熱
    1.烘干后的石墨舟由出產、工藝、設備查看無損壞后,一起將石墨舟進行預熱。
    2.預熱時石墨舟內不放硅片,將需求預熱的舟放入閑暇的爐管,此爐管不進行工藝,只需手動把真空泵的閥門打開就行了。
石墨舟的預處理(鍍舟)
    將空的石墨舟由出產、工藝、設備承認無反常之后,把石墨舟放進爐管開始進行預處理(鍍舟),其他的步驟跟正常的出產工藝都一樣,但到“淀積”那一步時將工藝堅持一個小時,然后再進行下面的步驟,等到工藝完畢,石墨舟從爐管內出來之后,經工藝人員承認之后,這個石墨舟就可以正常使用了。

石墨舟