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石墨治具的使用要求

發(fā)布作者:jcadmin      發(fā)布時(shí)間:2024年03月18日

石墨治具的運(yùn)用要求
   石墨治具是用于在半導(dǎo)體制造過(guò)程中承載、固定和維護(hù)芯片的石墨制件。在運(yùn)用過(guò)程中,需求滿意以下要求:
    1.石墨治具應(yīng)具有出色的導(dǎo)熱性能,以保證芯片在作業(yè)過(guò)程中散熱出色。
    2.石墨治具的外表應(yīng)光滑、平整,無(wú)劃痕或凸起,防止對(duì)芯片構(gòu)成危害。
    3.石墨治具的規(guī)劃應(yīng)符合所承載的芯片尺寸和形狀,以保證其穩(wěn)定性和承載才能。
    4.運(yùn)用前應(yīng)對(duì)石墨治具進(jìn)行預(yù)熱處理,以削減熱沖擊對(duì)其的影響。
    5.運(yùn)用后應(yīng)對(duì)石墨治具進(jìn)行清潔和維護(hù),以堅(jiān)持出色的作業(yè)情況和延伸其運(yùn)用壽命。

石墨治具